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专利名称: 一种湿法制备圆角化金字塔的方法;  一种湿法制备圆角化金字塔的方法
发明人: 叶继春;  王丹;  曾俞衡;  高平奇;  廖明墩;  韩灿;  童慧
授权日期: 2017-9-15
摘要: 本发明涉及一种湿法制备圆角化金字塔的方法。具体地,所述方法包括如下步骤:1)提供圆角化处理液和具有金字塔结构的硅片;2)在所述圆角化处理液中湿法处理所述具有金字塔结构的硅片,得到具有圆角化金字塔结构的硅片,其中,所述圆角化处理液包含如下组分:氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3<-sub>)和醋酸(CH3<-sub>COOH),其中,氢氟酸、硝酸和醋酸的体积比为1‑7:35‑100:15‑120,醋酸在所述圆角化处理液中的体积含量为7‑77%。所述方法可有效圆角化金字塔,并降低所得产物的缺陷态。
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叶继春,王丹,曾俞衡,等.一种湿法制备圆角化金字塔的方法.Cn107170845a.2017.
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