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专利名称: 一种NiMnX合金靶材的制备方法;  一种NiMnX合金靶材的制备方法
发明人: 孙丹丹;  王保敏;  李润伟;  沈渊
授权日期: 2015-6-17
摘要: 本发明提供了一种NiMnX(X=In、Ga、Sn,其中少量Ni元素可以由Co元素替代)合金靶材的制备方法。该方法将熔炼铸造法与粉末冶金法相结合,首先利用熔炼铸造法制备Ni-Mn-X合金锭,以提高合金密度,并且提高合金纯度,然后将合金锭研磨成合金粉,以提高合金的熔点,最后利用粉末冶金法制备NiMnX合金靶材。与现有技术中单纯采用熔炼铸造法或粉末冶金法制备NiMnX靶材的方法相比,本发明利用了这两种方法的优点,同时有效避免了这两种方法的不足,能够制得具有晶粒小、不易开裂、成分均匀、杂质含量低的高性能合金靶材。
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孙丹丹,王保敏,李润伟,等.一种nimnx合金靶材的制备方法.Cn104711471a.2015.
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