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用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置; 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置; 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置; 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置
宋振纶; 聂霞; 冒守栋; 晏敏胜; 郑必长
2015-06-10
专利权人中国科学院宁波材料技术与工程研究所
公开日期2015-06-10
授权国家中国
专利类型发明
摘要本发明提供了一种用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置,包括真空室、溅射源、底盘和样品托盘,所述溅射源、所述底盘和所述样品托盘均安装在所述真空室内,所述样品托盘安装在所述底盘上,所述样品托盘设置在所述溅射源的溅射范围内。本发明的用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置使用方便,使用时沉积条件相同,一致性好,能够快速辨识多元薄膜体系的结构和性能变化,给多元薄膜体系的研究提供准确参考。
申请日期2013-12-05
用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置; 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置; 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置; 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置
专利号CN104694885A
专利状态公开
申请号CN201310652374.7
PCT属性
专利代理人陈振, 李芙蓉
文献类型专利
条目标识符http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15879
专题专利成果
推荐引用方式
GB/T 7714
宋振纶,聂霞,冒守栋,等. 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置, 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置, 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置, 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置. CN104694885A[P]. 2015-06-10.
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