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专利名称: 用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置;  用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置
发明人: 宋振纶;  聂霞;  冒守栋;  晏敏胜;  郑必长
授权日期: 2015-6-10
摘要: 本发明提供了一种用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置,包括真空室、溅射源、底盘和样品托盘,所述溅射源、所述底盘和所述样品托盘均安装在所述真空室内,所述样品托盘安装在所述底盘上,所述样品托盘设置在所述溅射源的溅射范围内。本发明的用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置使用方便,使用时沉积条件相同,一致性好,能够快速辨识多元薄膜体系的结构和性能变化,给多元薄膜体系的研究提供准确参考。
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宋振纶,聂霞,冒守栋,等.用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置.Cn104694885a.2015.
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