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专利名称: 一种使用液态金属制备柔性电子线路的方法与装置;  一种使用液态金属制备柔性电子线路的方法与装置
发明人: 李润伟;  郑春蕾;  刘宜伟
授权日期: 2017-3-15
摘要: 本发明提供了一种使用液态金属制备柔性电子线路的方法与装置。采用热蒸发技术或者溅射技术,将液态金属作为蒸发源或者溅射源,热蒸发或者轰击溅射出液态金属粒子沉积在柔性衬底表面,形成液态金属薄膜。该方法简单易行,有利于柔性电子线路的小尺寸化。另外,本发明提供的制备装置结构简单,能够实现对液态金属靶材进行热蒸发与溅射两种方式,因此使用灵活。
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李润伟,郑春蕾,刘宜伟.一种使用液态金属制备柔性电子线路的方法与装置.Cn106498348a.2017.
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