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专利名称: 基体表面的富碳碳化铬纳米复合超硬自润滑涂层及其制备方法;  基体表面的富碳碳化铬纳米复合超硬自润滑涂层及其制备方法
发明人: 姜欣;  王永欣;  李金龙;  鲁侠;  陈建敏;  薛群基
授权日期: 2017-3-1
摘要: 本发明提供一种基体表面的富碳碳化铬纳米复合超硬自润滑涂层及其制备方法。该复合涂层由硬质相多晶CrC与润滑相纳米晶碳nc-C组成,并且以多晶CrC为基质,nc-C镶嵌在该多晶CrC基质中,形成“内晶型”的nc-C-CrC复合涂层,该涂层硬度高达40GPa以上,磨损率达10-16<-sup>m3<-sup>-N·m量级。本发明采用多弧离子镀技术,以金属Cr为靶材,高纯Ar为工作气体,C2<-sub>H2<-sub>为反应气体制备该nc-C-CrC复合涂层,通过控制基体负偏压调控涂层中CrC与碳的结晶状态和纳米团聚特征,在切削加工刀具以及其它机械运动零部件等领域具有良好的应用价值。
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姜欣,王永欣,李金龙,等.基体表面的富碳碳化铬纳米复合超硬自润滑涂层及其制备方法.Cn106467958a.2017.
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