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专利名称: 一种生物神经突触仿生电子器件的制备方法及其产品;  一种生物神经突触仿生电子器件的制备方法及其产品
发明人: 诸葛飞;  潘若冰;  曹鸿涛;  竺立强;  李俊
授权日期: 2015-4-15
摘要: 本发明公开了一种生物神经突触仿生电子器件的制备方法及其产品,制备方法如下:(1)依次在衬底上形成导电层和绝缘层;(2)在所述的绝缘层上形成若干个相互隔离的上电极;(3)使导电层接地,先向各上电极施加第一脉冲,然后再向各上电极施加第二脉冲;(4)对导电层和绝缘层进行刻蚀除去未被上电极覆盖的区域,即得到相互隔离的生物神经突触仿生电子器件。本发明通过对电极-电绝缘薄膜-电极叠层结构进行两步电压处理,改善了绝缘层的微结构及电学性能,使制备的生物神经突触仿生电子器件在模拟生物神经突触功能时,单个突触行为的能耗降低至10–5<-sup>fJ,从而实现超低能耗操作,有利于突触仿生电子器件的大规模集成。
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诸葛飞,潘若冰,曹鸿涛,等.一种生物神经突触仿生电子器件的制备方法及其产品.Cn104518088a.2015.
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