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专利名称: 一种耐磨耐蚀CrAlSiN复合涂层及其制备方法;  一种耐磨耐蚀CrAlSiN复合涂层及其制备方法
发明人: 王永欣;  单磊;  刘孟奇;  王立平;  薛群基
授权日期: 2016-6-15
摘要: 本发明公开了一种耐磨耐蚀CrAlSiN复合涂层,包括基体,所述的基体上覆盖有复合涂层,所述的复合涂层为基体表面自下而上依次层叠排列的Cr层、CrN层以及CrAlSiN层。其制备方法:步骤一、对基体表面进行清洗、除油、表面活化处理;步骤二、在镀膜设备真空腔体中,选用Cr、AlSi靶,通入氩气和氮气,通过控制氩气流量、氮气流量以及沉积时间在基体表面依次沉积Cr层、CrN层以及CrAlSiN层组成,步骤三、待涂层沉积完毕后,冷却在基体表面获得复合涂层。本发明的复合制备方便,具有涂层梯度而能够减小残余应力,且具有高耐磨性、高耐腐蚀性和高抗接触疲劳性。
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王永欣,单磊,刘孟奇,等.一种耐磨耐蚀cralsin复合涂层及其制备方法.Cn105671499a.2016.
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