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专利名称: 一种三维微-纳机电开关及其制备方法;  一种三维微-纳机电开关及其制备方法
发明人: 郭建军;  易志然;  许高杰
授权日期: 2016-6-1
摘要: 本发明公开了一种三维微-纳机电开关及其制备方法,该三维微-纳机电开关包括具有绝缘基底,所述绝缘基底上设有两个基底电极、各个基底电极上垂直连接有微纳米线,以所述微纳米线的顶端作为开关触点。制备方法如下:(1)在具有绝缘层的基底上制备基底两个相互隔离的基底电极;(2)采用电化学沉积法在各个基底电极上制备微纳米线,即得到所述的三维微-纳机电开关。本发明的三维微-纳机电开关闭合电压较低、器件尺寸小,便于实现高度集成。且制备方法简单,易于实现,制作周期短,可制作高自由度三维微纳米线。
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郭建军,易志然,许高杰.一种三维微-纳机电开关及其制备方法.Cn105632843a.2016.
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