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新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算
其他题名simulation of magnetic field distribution in doubly-bent filter cathode of vacuum arc film growth setup
李洪波 ; 孙丽丽 ; 吴国松 ; 代伟 ; 周毅 ; 汪爱英
2010
发表期刊真空科学与技术学报
ISSN1672-7126
卷号30期号:6页码:614-620
摘要本文用ANSYS软件对新型的45°双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统中的磁场分布进行了模拟计算,并结合等离子体传输和电弧源弧斑运行稳定性进行了分析.在建立的数学模型基础上,分别研究了磁过滤弯管磁场空间分布对拟定的不同出射方向上的111个碳离子束的传输行为影响,和外加永久磁体对电弧源附近磁场空间分布的影响.结果表明,在优化的磁过滤弯管磁场空间分布情况下,111个碳离子束流可全部通过磁过滤弯管,并高效传输到基材表面.当电弧靶源后部的外加永久磁体磁化方向与弯管上的磁化方向相反,且磁矫顽力大于600 kA/m时,阴极靶弧源附近的磁力线空间分布更利于控制阴极弧斑长时间运行稳定性,这对延长弧斑寿命、提高等离子体的沉积效率、提高靶材表面刻蚀均匀性和获得高性能的ta-C薄膜生长具有重要理论意义.
关键词双弯曲磁过滤阴极电弧
收录类别其他
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/1880
专题宁波所知识产出
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GB/T 7714
李洪波,孙丽丽,吴国松,等. 新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算[J]. 真空科学与技术学报,2010,30(6):614-620.
APA 李洪波,孙丽丽,吴国松,代伟,周毅,&汪爱英.(2010).新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算.真空科学与技术学报,30(6),614-620.
MLA 李洪波,et al."新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算".真空科学与技术学报 30.6(2010):614-620.
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