KMS Ningbo Institute of Materials Technology &Engineering,CAS
| 阴极电弧制备TiAlN 薄膜工艺参数的正交分析研究 | |
| 陈锋光 ; 孙丽丽 ; 成 浩 ; 柯培玲 ; 汪爱英 | |
| 2011 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/2783 |
| 专题 | 宁波所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈锋光,孙丽丽,成 浩,等. 阴极电弧制备TiAlN 薄膜工艺参数的正交分析研究[J],2011. |
| APA | 陈锋光,孙丽丽,成 浩,柯培玲,&汪爱英.(2011).阴极电弧制备TiAlN 薄膜工艺参数的正交分析研究.. |
| MLA | 陈锋光,et al."阴极电弧制备TiAlN 薄膜工艺参数的正交分析研究".(2011). |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 阴极电弧制备TiAlN薄膜工艺参数的正交（2211KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | |||
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